光纤MEMS低频声传感特性研究

• 作者: 周达华 宗思光 蒋冰莉
• 来源期刊: 光电技术应用
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械电子系统(MEMS) 光纤 低频声传感器
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 页码范围: 51-54
• 分类号: TN249
• 字数: 2219字
• 语种: 中文

摘要

光纤微机械电子系统(MEMS)传感器是MEMS微加工技术与微光学技术相结合发展的新型传感器,具有微型化、强抗电磁干扰、易集成、易阵列化、低成本、高可靠性等优点.针对低频声场测量需要,研究了光纤 MEMS 测声理论,建立了法布里-珀罗(F-P)干涉测声的理论模型,设计并制作了光纤MEMS低频声传感器样品.实测表明,光纤MEMS性能可满足对4~5000 Hz频段对声波的高灵敏测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宗思光		76	536	13.0	18.0
2	周达华		5	4	1.0	1.0
3	蒋冰莉		1	2	1.0	1.0