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蒙特卡罗方法数值模拟二维原子光刻
蒙特卡罗方法数值模拟二维原子光刻
作者:
张萍萍
李同保
马艳
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
激光光学
原子光刻
纳米计量
纳米点
蒙特卡罗方法
摘要:
间距为半波长的纳米点制作可以进一步推动纳米计量的发展.基于经典粒子光学模型,采用蒙特卡罗思想提供初始条件,数值分析了偏振方向平行于光场平面、正交激光驻波场形成的光格点的汇聚与沉积特性.针对不同激光功率以及横向发散角分析了沉积纳米点的三维结构,同时也讨论了基板摆放位置对沉积结构的影响.数值模拟结果表明,在厚透镜及沟道化情况下得到了特征较好的纳米点.横向发散角以及基板位置的摆放是影响纳米点质量的重要因素.
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文献信息
篇名
蒙特卡罗方法数值模拟二维原子光刻
来源期刊
同济大学学报(自然科学版)
学科
物理学
关键词
激光光学
原子光刻
纳米计量
纳米点
蒙特卡罗方法
年,卷(期)
2012,(8)
所属期刊栏目
数理科学与化学
研究方向
页码范围
1270-1275
页数
分类号
O436
字数
3047字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.0253-374x.2012.08.026
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
马艳
同济大学物理系
56
410
11.0
17.0
2
李同保
同济大学物理系
41
130
7.0
8.0
3
张萍萍
同济大学物理系
7
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3.0
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原子光刻
纳米计量
纳米点
蒙特卡罗方法
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
同济大学学报(自然科学版)
主办单位:
同济大学
出版周期:
月刊
ISSN:
0253-374X
CN:
31-1267/N
开本:
大16开
出版地:
上海四平路1239号
邮发代号:
4-260
创刊时间:
1956
语种:
chi
出版文献量(篇)
6707
总下载数(次)
15
总被引数(次)
105464
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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