蒙特卡罗方法数值模拟二维原子光刻

• 作者: 张萍萍 李同保 马艳
• 来源期刊: 同济大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光光学 原子光刻 纳米计量 纳米点 蒙特卡罗方法
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 所属期刊栏目: 数理科学与化学
• 页码范围: 1270-1275
• 分类号: O436
• 字数: 3047字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-374x.2012.08.026

摘要

间距为半波长的纳米点制作可以进一步推动纳米计量的发展.基于经典粒子光学模型,采用蒙特卡罗思想提供初始条件,数值分析了偏振方向平行于光场平面、正交激光驻波场形成的光格点的汇聚与沉积特性.针对不同激光功率以及横向发散角分析了沉积纳米点的三维结构,同时也讨论了基板摆放位置对沉积结构的影响.数值模拟结果表明,在厚透镜及沟道化情况下得到了特征较好的纳米点.横向发散角以及基板位置的摆放是影响纳米点质量的重要因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马艳	同济大学物理系	56	410	11.0	17.0
2	李同保	同济大学物理系	41	130	7.0	8.0
3	张萍萍	同济大学物理系	7	18	3.0	4.0