模糊自整定比例积分控制在空间三维纳米定位台的应用

• 作者: 施宁平 舒强 饶学军
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 压电驱动器 纳米定位 精密对准 模糊控制
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 光学测量、信息光学与图像处理
• 页码范围: 202-207
• 分类号: TP206
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种空间三自由度纳米定位平台,其应用背景为光刻投影物镜波像差检测系统的精密对准,因此对定位精度和定位速度都提出了很高的要求.首先简要介绍了空间三维纳米定位台；然后将模糊控制同传统PI(比例积分)控制相结合,利用定位偏差和偏差变化率信息,通过模糊推理实时调整PI控制参数,并在VC++环境下实现了模糊自整定PI参数的控制算法.实验结果表明,该控制方法较常规PI控制器能够有效地提高响应速度,减小阶跃响应超调量,保证了控制的实时性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	饶学军	中国科学院自适应光学重点实验室	19	397	10.0	19.0
5	施宁平	中国科学院自适应光学重点实验室	6	12	2.0	3.0
9	舒强	中国科学院自适应光学重点实验室	2	2	1.0	1.0