划片机空气静压电主轴材料选用及加工工艺研究

• 作者: 张伟 贾月明
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 空气静压电主轴 材料选用 加工工艺 划片机
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 封装技术与设备
• 页码范围: 11-14
• 页数: 4页
• 分类号: TH162
• 字数: 2686字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2012.06.004

摘要

从划片机空气静压电主轴的结构出发，分析了主轴的技术要求，提出了主轴材料选用的基本原则，介绍了划片机主轴的常用材料，重点论述了划片机主轴的加工阶段划分、热处理安排和定位基准选择，给出了划片机主轴的加工工艺路线图，并在实践中进行了验证。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张伟		8	21	3.0	4.0
2	贾月明		2	5	1.0	2.0