基于腹底式被动阻尼器抑制精密气浮工作台的定位噪声

• 作者: 张山 王雷
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 气浮工作台 气浮导轨 定位噪声 阻尼器
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2704-2711
• 页数: 8页
• 分类号: TP274|TH703
• 字数: 2520字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122012.2704

摘要

针对已开发的精密直线气浮工作台,设计了腹底式被动结构的阻尼器以解决静压气浮导轨传动阻尼小,抗干扰能力差等问题.设计的阻尼器由固定于气浮滑套下端面的阻尼片以及处于阻尼片正下方的阻尼油槽和阻尼油组成.通过实验获取了阻尼器的阻尼系数,继而建立了气浮工作台机电控制模型.仿真分析了阻尼器对工作台气浮噪声和动态特性的影响规律:随着阻尼的增大,气浮工作台的稳定裕度和衰减噪声的能力增加,但动态响应速度降低.实验表明,实验结果与所推导的气浮工作台特性一致,且增加阻尼系数为293.78 N/m·s-1的阻尼器后,气浮工作台的定位噪声由60 nm(峰峰值)降为20 nm(峰峰值),位移灵敏度为20 nm,实验验证了采用此种结构的阻尼器可有效抑制精密气浮工作台定位噪声.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王雷	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	36	230	8.0	14.0
2	张山	山东科技大学电气信息系	7	15	2.0	3.0