精密测量系统气浮工作台瞬态控制方法

• 作者: 卢明臻 崔建军 施玉书 杜华 高思田
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 精密测量 气体轴承 微振动 瞬态 控制
• 年，卷（期）: 2008,（z1）
• 所属期刊栏目: 几何量计量基础理论
• 页码范围: 11-14
• 页数: 4页
• 分类号: TB92
• 字数: 3026字
• 语种: 中文

摘要

气浮工作台是精密仪器中常用的位移机构.为了消除气体微振动对精密测量的影响,提出了气浮工作台区分两种工作模式:运动模式和测量模式.在掌握气体止推轴承上气和排气的瞬态过程规律的基础上,提出了一种模式切换过程中气浮工作台的瞬态控制方法,实现其运动模式和测量模式的平稳过渡.气浮工作台在上气过程中的偏移不大于250 nm,排气过程中的偏移不大于200 nm,且经历时间在0.3 S左右.该方法的提出提高了气浮工作台的性能,使之成为测量系统中优良的大范围位移系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高思田		93	567	11.0	19.0
2	崔建军		33	122	6.0	8.0
3	卢明臻		16	97	6.0	8.0
4	杜华		33	201	8.0	12.0
5	施玉书		35	121	5.0	8.0