超精密工作台控制方案的优化选择

• 作者: 尹东星 张晓峰 林彬
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密工作台 PID控制 双环反馈 层次分析法
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 设备设计/诊断维修/再制造
• 页码范围: 124-127,52
• 页数: 5页
• 分类号: TH16
• 字数: 3273字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2007.01.041

摘要

采用直线电动机加气浮导轨模式搭建大行程纳米级分辨率的超精密工作台,并建立超精密工作台进给系统的数学模型.通过计算机仿真分别分析单位反馈PID控制、带加速度前馈的PID控制、位置速度双环反馈和Smith预估控制等控制模式在不同材料做导轨时的控制指标.在控制系统选择上采用层次分析法建立综合评价体系,通过分析、计算、比较,确定位置环、速度环的双环反馈控制为本工作台最佳控制方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尹东星	天津大学机械学院先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室	2	13	2.0	2.0
2	林彬	天津大学机械学院先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室	93	970	18.0	28.0
3	张晓峰	天津大学机械学院先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室	21	217	6.0	14.0