DBC气氛网带炉的设计与应用

• 作者: 高立影
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: DBC 气氛 高温烧结 预氧化 氧含量
• 年，卷（期）: 2012,（9）
• 所属期刊栏目: IC制造与设备
• 页码范围: 35-40
• 页数: 6页
• 分类号: TF806.1
• 字数: 2672字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2012.09.011

摘要

针对目前蓬勃发展的DBC技术,而专门研制的气氛网带烧结炉,可用于DBC的高温烧结及预氧化,同时,该气氛网带烧结炉关键点的氧含量均可控可调,充分满足了DBC的整个流程工艺。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高立影		1	0	0.0	0.0