三面静压转台回转精度干涉测量与误差处理

• 作者: 于建华 刘国庆 杨庆东
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 静压转台 回转精度 干涉测量 补偿
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 仪器仪表/检测/监控
• 页码范围: 97-100
• 分类号: TH161
• 字数: 2860字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2012.04.025

摘要

介绍了激光干涉法测三面静压转台回转精度的原理及测量方法,分析了激光干涉仪在回转轴运动位置精度测量中的主要误差诱因；作出了角度测量中正弦近似误差特性曲线,并建立了该测量误差的数学模型,为机床的运动精度误差补偿提供了数据.经现场检验,该方案简便易行,成效显著.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨庆东	北京信息科技大学机电工程学院机械工业多轴复合机床关键部件研究重点实验室	132	394	10.0	13.0
2	刘国庆	北京信息科技大学机电工程学院机械工业多轴复合机床关键部件研究重点实验室	19	39	4.0	6.0
3	于建华	北京信息科技大学机电工程学院机械工业多轴复合机床关键部件研究重点实验室	2	0	0.0	0.0