硅太阳电池扩散方阻均匀性研究

• 作者: 杨乐 谢卿 高华
• 来源期刊: 光电技术应用
• 学科: 工学
• 关键词: 硅太阳电池 扩散 方块电阻 均匀性
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 页码范围: 50-58
• 分类号: TM914.4+1
• 字数: 3899字
• 语种: 中文

摘要

在规模化生产制作单晶硅太阳能电池过程中,控制扩散质量是提升电池质量和效率的关键.在分析了设备及工艺方面存在的影响扩散均匀性因素的基础上,提出了优化扩散均匀性的实验方法,包括:在硅片表面上制作二氧化硅薄膜来减缓磷扩散的速度;在扩散时控制小氮与氧气的流量比例;减少扩散过程中温度波动对扩散结果的影响;在炉口区域设置较高的温度进行温度补偿;调整炉内压强使输入输出达到动态平衡等.试验证明这些方法可以改善电池电性能,并对工业化生产具有一定的参考价值

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨乐		6	27	3.0	5.0
2	高华		11	60	5.0	7.0
3	谢卿		1	5	1.0	1.0