应用QFD方法确定HIC实施SPC的关键工序

• 作者: 刘建
• 来源期刊: 电子产品可靠性与环境试验
• 关键词: 质量功能展开 关键工序 混合集成电路 工艺过程控制
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 可靠性设计与工艺控制
• 页码范围: 43-47
• 分类号: TB114.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-5468.2012.02.010

摘要

在实施SPC的过程中,针对关键工序开展技术攻关,固化攻关成果,开展质量稳定性控制与评价,保证产品的质量稳定性.但是,在确定关键工序的过程中经常是依据“经验”,没有建立起各工序与最终产品质量稳定性的定量表征关系,使得技术攻关存在着一定程度的盲目性.针对混合集成电路生产工艺,应用QFD的方法来确定SPC实施中的关键工序.分析结果表明,应用质量功能展开方法,可以建立起产品质量攻关特性和工艺条件的定量对应关系,对各项指标进行科学的评算和分析,减少了盲目性,为企业的快速发展提供了动力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘建		4	12	3.0	3.0