三氯氢硅提纯系统的废气废液再回收

• 作者: 侯二林 宋安宁 蒯伟 郑斌
• 来源期刊: 精细与专用化学品
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 精馏工艺 优化
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 所属期刊栏目: 应用科技
• 页码范围: 17-18
• 页数: 2页
• 分类号: TQ223.121
• 字数: 1448字
• 语种: 中文

摘要

分析了目前多晶硅生产中氯硅烷精馏的工艺；通过研究和借鉴，经过反复的实验分析、设计优化了氯硅烷精馏工艺，简化了流程，在提高三氯氢硅产品质量的同时．对废气废液充分回收，达到节能减排、降低成本的目的。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒯伟		1	2	1.0	1.0
2	郑斌		3	9	2.0	3.0
3	宋安宁		4	4	2.0	2.0
4	侯二林		1	2	1.0	1.0