MEMS谐振器的并联电容噪声抑制

• 作者: 冯明 唐梦 程新红
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS谐振器 质量传感器 生化检测 电容补偿 频率噪声
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: MSMS与传感器
• 页码范围: 318-322
• 分类号: TH703
• 字数: 1909字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2012.05.006

摘要

由于谐振频率和谐振器质量呈线性关系,基于MEMS谐振器的等效机械和电路模型,可用于质量传感器应用.然而,动态模式下的MEMS谐振器具有容性传导特性,其两端口结构在电极之间会存在并联电容,扭曲其传输特性,增加整个系统的频率噪声.虽然通过改进工艺可以一定程度地降低并联电容,然而工艺的复杂度和成本会因此大大增加.针对这个问题,提出了纯电路的改进策略,使用可调电容或同等MEMS对两种方式来补偿并联电容的影响,从而降低频率噪声.实验测量结果显示补偿后频率噪声大大减少,分别从300和100 Hz降低到了100和1 Hz,大大满足了其应用精度要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程新红	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	14	34	4.0	5.0
2	冯明	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	4	27	3.0	4.0
3	唐梦	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	1	0	0.0	0.0