高稳定性阵列光栅拼接架设计与验证

• 作者: 周忆 周海 张军伟 林东晖 王逍 陈伟 陈良明
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光学设计 光栅拼接 拼接架 结构设计 稳定性
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 160光学设计与制造
• 页码范围: 226-231
• 页数: 6页
• 分类号: O436.1|TN203
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201239.0216001

摘要

光栅拼接是解决光栅口径限制的一种有效途径,而光栅拼接的难点是子光栅的精密调整和稳定性保持.为实现子光栅的精密调整,采用了差动螺纹和压电驱动器两级驱动调整机构,子光栅调整精度可达纳米量级；为提高光栅拼接架结构稳定性,对影响光栅拼接架结构稳定性的因素进行了理论分析,根据分析结果,设计了新型的光栅拼接架,采用整体式支撑结构以提高光栅拼接架的固有频率,用柔性铰链代替弹簧以提高子光栅与光栅支撑架的联接刚度,光栅拼接架的稳定性得到大幅提高.经实验测试,拼接架的稳定时间超过1h,子光栅间相对位移标准差为35.7nm,拼接架满足使用要求.