睿励科学仪器在SEMICONChina2012上推展出TFX3000

• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 科学仪器 半导体生产工艺 测量设备 金属薄膜 技术节点 自主研发 测量系统 全自动
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 企业之窗
• 页码范围: 64-64
• 页数: 1页
• 分类号: TN305
• 字数: 969字
• 语种: 中文

摘要

300mm全自动300mm精密薄膜线宽测量系统睿励科学仪器（上海）有限公司在SEMICONChina2012期间推展出其自主研发的适用于65am和45mm技术节点的300mm硅片全自动300mm精密薄膜线宽测量设备（TFX3000）。该设备适用于先进半导体生产工艺中各种非金属薄膜的厚度及折射率的测量，