剥离工艺制作SAW滤波器IDT的研究

• 作者: 赵兴海 郑英彬 陈颖慧 高杨
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波(SAW) 滤波器 叉指换能器(IDT) 剥离 陡直度
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 124-128
• 分类号: TN305
• 字数: 3164字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2012.02.010

摘要

研究了用于声表面波滤波器的微米尺度的叉指换能器的制作工艺.利用剥离工艺,分别采用铝和铬金两种金属制作了叉指换能器的电极,分析了剥离工艺制作叉指电极时的工艺特性.对加工样品的测量分析结果表明,利用剥离工艺制备的叉指换能器电极线条光滑、陡直、清晰,但是成品率较低.对比分析了采用铝和铬金制作的叉指换能器样品结构,结果表明两种金属材料在剥离液中的腐蚀时间不同,铝材料需要较长的剥离时间；两种材料制作的电极图形质量也有差异,铝材料制作的电极更为陡直、精细.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
2	赵兴海	中国工程物理研究院电子工程研究所	34	240	9.0	14.0
3	郑英彬	中国工程物理研究院电子工程研究所	22	115	7.0	9.0
4	陈颖慧	中国工程物理研究院电子工程研究所	15	82	6.0	8.0