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一种基于谐振音叉的新型差动式硅微加速度计设计与分析
一种基于谐振音叉的新型差动式硅微加速度计设计与分析
作者:
孙苗苗
李成
樊尚春
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
谐振式微加速度计
双端固支音叉谐振器
微杠杆结构
有限元仿真
摘要:
为提高谐振式加速度计灵敏度、稳定性以及减小加速度计体积,本文提出一种结构新颖的谐振式硅微加速度计.采用一级微杠杆机构对质量块惯性力进行放大,通过一对差动布置的双端固支音叉谐振器的固有频率变化检测惯性力,从而实现对加速度的测量.该加速度计可采用体硅加工工艺,给出了总体工艺流程.采用解析和有限元分析方法对加速度计敏感元件进行了分析,有限元分析结果与解析分析结果相吻合,有限元分析可得加速度计灵敏度为57.4 Hz/g.分析结果表明该加速度计结构具有高灵敏度、高温度稳定性和小体积等优点.
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一种新型谐振加速度计
微机械加速度计
谐振块硅
内容分析
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相关学者/机构
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文献信息
篇名
一种基于谐振音叉的新型差动式硅微加速度计设计与分析
来源期刊
传感技术学报
学科
工学
关键词
谐振式微加速度计
双端固支音叉谐振器
微杠杆结构
有限元仿真
年,卷(期)
2012,(1)
所属期刊栏目
物理类传感器
研究方向
页码范围
20-24
页数
分类号
TN304.12
字数
2640字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1004-1699.2012.01.004
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
李成
北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
21
92
5.0
9.0
2
樊尚春
北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
161
841
15.0
21.0
3
孙苗苗
北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
1
5
1.0
1.0
传播情况
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二级引证文献(0)
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二级引证文献(0)
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引证文献(1)
二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
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双端固支音叉谐振器
微杠杆结构
有限元仿真
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
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传感技术学报
主办单位:
东南大学
中国微米纳米技术学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-1699
CN:
32-1322/TN
开本:
大16开
出版地:
南京市四牌楼2号东南大学
邮发代号:
创刊时间:
1988
语种:
chi
出版文献量(篇)
6772
总下载数(次)
23
总被引数(次)
65542
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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