悬臂式坐标测量机误差分离与补偿的研究

• 作者: 尚平 王晨晨 费业泰
• 来源期刊: 电子测量与仪器学报
• 学科: 工学
• 关键词: 悬臂式坐标测量机 几何误差 误差模型 误差分离 误差补偿
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 413-418
• 分类号: TH721.1|TN98
• 字数: 4261字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1187.2012.00413

摘要

对一台自主设计的,专用于连铸结晶器测量的悬臂式坐标测量机进行研究,分析了影响其精度的主要误差源.用齐次坐标变换矩阵建立测量机的几何误差修正模型,并附加了非刚性误差补偿项.使用激光干涉仪和激光跟踪仪将误差模型中的各项误差给予逐项的分离,经计算后代入误差模型进行补偿.实测结果表明,当测量机沿体对角线运动时,其最大位移误差从补偿前的600μm降低到50 μm,因此该补偿方法是有效可行的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	费业泰	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	222	2927	27.0	41.0
2	尚平	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	8	89	5.0	8.0
3	王晨晨	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	11	101	4.0	10.0