单粒子翻转二维成像技术

• 作者: 刘建成 史淑廷 惠宁 沈东军 王鼎 苏秀娣 郭刚 陆虹 高丽娟
• 来源期刊: 信息与电子工程
• 学科: 工学
• 关键词: 单粒子翻转成像 重离子微束 随机静态存储器
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 微光机电与物理电子技术
• 页码范围: 608-612
• 页数: 5页
• 分类号: TN911.72|TP274+.2
• 字数: 4890字
• 语种: 中文

摘要

为了给星用半导体器件不同区域的单粒子翻转(SEU)机理研究提供一种高效、可靠手段,基于北京HI-13串列加速器,从重离子微束辐照技术和存储器单粒子效应检测技术这2方面,对微电子器件SEU二维成像测试技术进行了研究,建立了基于虚拟技术的测试系统.利用该成像技术,对国产2 kbit静态随机存储器(SRAM)的SEU敏感区域进行了实验研究,结果与理论结果及以往手动测试实验结果一致.