应用材料公司独一无二的UVision5系统为亚20nm世代提供世界一流的图形检测能力

• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 检测能力 应用材料公司 图形 世界 世代 系统 深紫外激光 检测灵敏度
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 企业之窗
• 页码范围: 61-61
• 页数: 1页
• 分类号: TN305
• 字数: 850字
• 语种: 中文

摘要

●深紫外激光、明场和暗场技术为硅片提供近2倍的光强,实现一流的检测灵敏度 ●专有图像处理运算可降噪50%,能检测到密集结构上的缺陷