多晶硅还原炉调功器调功方案及应用经验探讨

• 作者: 陈杰 陈真生 韩健伟 黄开均
• 来源期刊: 工业控制计算机
• 学科: 工学
• 关键词: 还原炉调功器 调功方案 硅芯击穿 恒温加热
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 所属期刊栏目: 电子技术应用
• 页码范围: 112-113,131
• 分类号: TN34
• 字数: 3726字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-182X.2012.08.051

摘要

多晶硅是太阳能光伏产业和电子工业的基础原料,其发展前景光明.还原炉调功器是多晶硅生产的核心装置,对还原炉生产多晶硅的产品质量和单位能耗影响较大.阐述了多晶硅的生长原理和电气特性、调功器调功方案以及调功器在大型多晶硅生产装置中的应用经验.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈真生		5	1	1.0	1.0
2	黄开均		4	0	0.0	0.0
3	陈杰		2	1	1.0	1.0