非球面数字波面检测技术

• 作者: 杨帆 袁吕军
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 光学检测 非球面 数字波面 波像差
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 光学器件与制造
• 页码范围: 1118-1122
• 页数: 5页
• 分类号: TN205|TN247
• 字数: 1949字
• 语种: 中文
• DOI: 10.5768/JAO201233.0605001

摘要

提出了一种快速检测浅度非球面(非球面度小于0.01 mm)的方法,该方法无需补偿器或其他辅助光学元件进行零位补偿.用移相干涉仪直接测量正轴或离轴的浅度凹非球面,剔除平移、倾斜、失焦等调整误差后,得到实际被测镜面的面形分布数据；根据正轴或离轴的浅度凹非球面矢高方程计算理想非球面的面形分布数据,得到理论波面数据,用实测的面形分布数据减去理论的面形分布数据即可得到被检非球面的剩余波像差,即面形误差.利用该方法测量了一口径为135 mm的双曲面,并用零位补偿法加以验证.两种方法的检测结果精度相当,说明数字波面法可实际应用于正轴或离轴的浅度凹非球面的检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨帆	中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所	180	1565	19.0	33.0
10	袁吕军	中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所	7	39	3.0	6.0