利用空域滤波虚光栅叠栅法提取干涉图波面

• 作者: 吴泉英 王军 陈磊
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 干涉测量 虚光栅叠栅条纹法 波面 空间滤波
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 212-216
• 页数: 5页
• 分类号: O436.3|TN247
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201239.0508005

摘要

虚光栅叠栅条纹法是一种利用单幅干涉图提取波面信息的方法,为了解决叠栅条纹的滤波问题,提出了一种基于高斯函数的空域滤波法.利用高斯函数在空域中对叠栅条纹图进行模糊处理,滤除不需要的高频分量,仅保留包含波面相位信息的低频分量.重点研究了高斯函数滤波窗口的选择和干涉图的载频之间的对应关系.该方法具有计算量小、易于选取滤波窗口的优点.对一光学平面的面形测量结果表明,利用空域滤波虚光栅叠栅法提取的波面[峰谷(PV)值为0.080λ,均方根(RMS)值为0.020λ,λ=632.8 nm]与利用Zygo GPI干涉仪的四步移相法得到的波面(PV值为0.079λ,RMS值为0.017λ)相吻合.