基于波面面形的滤波计算

• 作者: 刘世杰 周游 夏志林 张志刚 曾翔
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉测量 干涉条纹图 波面面形 滤波方式
• 年，卷（期）: 2016,（12）
• 所属期刊栏目: 高功能激光光学元器件
• 页码范围: 3033-3040
• 页数: 8页
• 分类号: TH744.3|TN247
• 字数: 4307字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162412.3033

摘要

为提高光学干涉测量的精度,研究了用来消除干涉条纹图噪声的滤波算法.讨论了不同波面和不同干涉仪噪声下不同滤波方法的滤波效果.考虑干涉仪噪声对条纹图的影响与检测中的不同波面情况,基于泽尼克多项式原理用mat-lab仿真法建立了离焦、像散、彗差、球差4种不同的干涉条纹图,计算了滤波后不同波面面形的PV值和GRMS值差别的大小.结果表明:同种噪声与滤波器情况下,在离焦、像散、彗差、球差4种面型中,滤波后球差波面的PV差值最大,高达0.11λ,与在乘性噪声下其它波面的最高PV值0.08λ相比,滤波效果较差;滤波后像散波面的PV差值最小,除乘性噪声中值滤波情况外,PV差值均在0.05λ以下,最低达0.01,滤波效果较好.此外,彗差波面滤波情况要略优于离焦波面.滤波器中,低通滤波稳定性高,PV差值局限于0.01λ～0.04λ,滤波效果相对好;而空域滤波后波面的PV差值最高达0.09λ,但噪声针对性更好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏志林	武汉理工大学材料科学与工程学院	29	159	7.0	12.0
2	张志刚	中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室	41	334	11.0	16.0
3	周游	中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室	7	38	3.0	6.0
4	曾翔	武汉理工大学材料科学与工程学院	2	14	2.0	2.0
6	刘世杰	中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室	29	104	5.0	9.0