基于Modbus协议的立式炉电力监测系统

• 作者: 徐冬 王艾
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 立式炉 Modbus协议 串口通信 故障诊断
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 材料制备工艺与设备
• 页码范围: 16-19
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 2898字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2012.04.004

摘要

针对300 mm立式炉设备电力安全性、可靠性的需要,设计、实现了一套立式炉电力监测系统。基于Modbus协议,该系统实现上位机实时获取并保存立式炉设备上各段温区的电力数据。保存的电力数据不仅可用于设备的故障诊断,还可用于分析炉体加热器在各温度点上的电学特性。该系统已应用于实际的立式炉设备电力监测。实际效果表明,该系统具有运行可靠、扩展性好、使用方便的特点。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王艾	北京七星华创电子股份有限公司集成电路工艺设备研发中心	3	3	1.0	1.0
2	徐冬	北京七星华创电子股份有限公司集成电路工艺设备研发中心	3	3	1.0	1.0