基于光学鼠标传感器的中远距离微位移测量装置的设计

• 作者: 傅惠南 库才高 黄辉
• 来源期刊: 机械制造与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 位移测量 光学鼠标传感器 中远距离 微位移
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 机械制造与研究
• 页码范围: 18-20
• 页数: 3页
• 分类号: TH12
• 字数: 1694字
• 语种: 中文

摘要

在单晶金刚石弹性研磨过程中,测量研磨盘浮动的涡流传感器与盘面的距离较小,不利于研磨盘的调整.为了提高测量距离,提出了一种基于光学鼠标传感器ADNS3080的中远距离的微位移测量方法,分析了测量原理,对测量系统的光路、显示窗口、数据的存储、测量软件部分进行了设计.并通过试验证明该方法能实现中远距离微位移的测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅惠南	广东工业大学机电工程学院	51	129	6.0	7.0
2	库才高	广东工业大学机电工程学院	4	10	2.0	3.0
3	黄辉	广东工业大学机电工程学院	7	22	3.0	4.0