Edwards：展示先进真空技术和尾气处理系统

• 作者: 黄友庚
• 来源期刊: 中国集成电路
• 学科: 工学
• 关键词: 尾气处理系统 真空技术 服务供应商 真空设备
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 企业与产品
• 页码范围: 83-84
• 页数: 2页
• 分类号: TB7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1681-5289.2012.04.080

摘要

STP-i XR1606STP-i XA3306作为全球领先的真空设备和服务供应商Edwards公司在今年的SEMICONChina上再次展示了其先进的真空技术和尾气处理系统。