在光阻材料中过滤器吸附机制的作用

• 作者: Tetsu Kohyama
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 光阻材料 过滤器 吸附试验 尼龙滤膜耐受性
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: 材料制备工艺与设备
• 页码范围: 22-27
• 页数: 6页
• 分类号: TN108.5
• 语种: 中文

摘要

近来尼龙过滤被广泛用于光刻工艺流程来改善良率，因为许多IC和光阻制造商有实验性证据表明尼龙滤膜能吸附杂质。然而，尼龙滤膜降低缺陷的机制尚不清楚。通过致力于特定的光阻成分来研究不同的缺陷发生机制是十分有用的。利用表面改性和不同的光阻成分进行了各种吸附试验来测量尼龙滤膜的耐受性，包括表面张力，光酸发生剂和光酸抑制剂。最后，研究希望通过致力于如何最佳贯彻尼龙过滤策略来确定最有效的方法提高良率。