基片温度对LiCoO2薄膜结构与电化学性能的影响

• 作者: 刘文元 周晓华 段荔 高萍
• 来源期刊: 化学研究与应用
• 学科: 化学
• 关键词: LiCoO2 磁控溅射 基片温度
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 106-109
• 分类号: O614.1
• 字数: 2949字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1656.2012.01.021

摘要

采用射频(RF)磁控溅射技术制备了用于全固态薄膜锂电池的非晶态和多晶LiCoO2阴极薄膜,利用XRD和SEM研究了沉积温度对LiCoO2薄膜结构和形貌的影响,并研究了高温退火后薄膜的电化学性能.研究结果表明,随著基片温度的不同,薄膜成分、表面形貌以及电化学行为有明显差异.室温沉积的薄膜很难消除薄膜中Li2CO3的影响,经过高温退火处理后也无法形成有效的多晶LiCoO2薄膜,而150℃沉积的薄膜经过高温退火后形成了有利于锂离子嵌入的多晶LiCoO2结构,薄膜显示出了较好的电化学性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘文元		27	384	12.0	19.0
2	周晓华		10	89	4.0	9.0
3	段荔		9	23	2.0	4.0
4	高萍		2	1	1.0	1.0