多晶硅生产氯化氢回收工艺的模拟与优化

• 作者: 周祥顺 王岭 王钟辉 胡小冬 黎展荣
• 来源期刊: 现代化工
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 尾气回收 氯化氢 模拟
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 信息技术应用
• 页码范围: 104-106,108
• 分类号: TQ018
• 字数: 2815字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-4320.2012.04.025

摘要

建立了多晶硅生产氯化氢回收工艺过程的热力学模型,考察了吸收塔进气的氯化氢摩尔分数、吸收塔的液气比、解吸塔回流比等因素对吸收尾气中氯化氢摩尔分数、回收氯化氢中氯化氢摩尔分数的影响,并考察了闪蒸脱氢的最优条件.最终得出CVD尾气的最优吸收液气比和解吸同流比分别为1.4和0.3；STC氢化尾气的最优吸收液气比和解吸回流比分别为2.0和0.3；闪蒸的最优条件是0.2 MPa、-40℃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小冬		3	27	3.0	3.0
2	黎展荣		3	27	3.0	3.0
3	周祥顺		1	4	1.0	1.0
4	王钟辉		1	4	1.0	1.0
5	王岭		1	4	1.0	1.0