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摘要:
建立了多晶硅生产氯化氢回收工艺过程的热力学模型,考察了吸收塔进气的氯化氢摩尔分数、吸收塔的液气比、解吸塔回流比等因素对吸收尾气中氯化氢摩尔分数、回收氯化氢中氯化氢摩尔分数的影响,并考察了闪蒸脱氢的最优条件.最终得出CVD尾气的最优吸收液气比和解吸同流比分别为1.4和0.3;STC氢化尾气的最优吸收液气比和解吸回流比分别为2.0和0.3;闪蒸的最优条件是0.2 MPa、-40℃.
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 多晶硅生产氯化氢回收工艺的模拟与优化
来源期刊 现代化工 学科 工学
关键词 多晶硅 尾气回收 氯化氢 模拟
年,卷(期) 2012,(4) 所属期刊栏目 信息技术应用
研究方向 页码范围 104-106,108
页数 分类号 TQ018
字数 2815字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.0253-4320.2012.04.025
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 胡小冬 3 27 3.0 3.0
2 黎展荣 3 27 3.0 3.0
3 周祥顺 1 4 1.0 1.0
4 王钟辉 1 4 1.0 1.0
5 王岭 1 4 1.0 1.0
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研究主题发展历程
节点文献
多晶硅
尾气回收
氯化氢
模拟
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
现代化工
月刊
0253-4320
11-2172/TQ
大16开
北京安外小关街53号
082-67
1980
chi
出版文献量(篇)
9409
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26
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