位置敏感探测器(PSD)的非线性补偿技术

• 作者: 丛培田 刘广军 陆明
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 位置敏感探测器 非线性补偿 双边线性插值
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 过程控制
• 页码范围: 53-54,57
• 分类号: TP212.9
• 字数: 1429字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2012.07.019

摘要

介绍了二维枕型位置敏感探测器(PSD)的工作原理和非线性的成因.根据PSD的非线性特点提出了双边线性插值补偿法对PSD的非线性进行补偿.在不增加硬件成本的前提下大幅度提高了PSD的线性度,扩大了PSD的有效使用面积.实验表明:补偿后PSD获得了很好的线性度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丛培田	沈阳理工大学机械工程学院	62	234	8.0	12.0
2	陆明		3	36	3.0	3.0
3	刘广军	沈阳理工大学机械工程学院	1	9	1.0	1.0