基于圆形振动膜的MEMS压电传声器研究

• 作者: 刘梦伟 李俊红 汪承灏 马军 魏建辉
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 压电微传声器 圆形振动膜 分割电极
• 年，卷（期）: 2012,（18）
• 所属期刊栏目: 仪器科学与技术
• 页码范围: 85-88
• 分类号: TN384
• 字数: 2967字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3901/JME.2012.18.085

摘要

为提高微电子机械系统(Micro-electro-mechanical systems,MEMS)压电传声器的灵敏度和成品率,提出一种优化设计的圆形振动膜MEMS压电传声器.采用硼扩散方法实现振动膜的圆形支撑墙,避免由于方形支撑墙造成的四角应力集中,并通过深硼扩散技术,增加圆形围墙的厚度,避免了振动膜的“软”支撑问题；振动膜采用Si3N4/SiO2/Si3N4复合结构,减少振动膜的内应力；采用电极分割串联技术,传声器被分割成在声学上并联、在电学上串联的若干部分,以期提高MEMS传声器的灵敏度.在结构优化的基础上,利用MEMS技术制备压电微传声器,所制备传声器振动膜平坦、无褶皱,成品率有了明显提高.在消声室中采用同时比较法对传声器进行测量,优化设计的圆形振动膜传声器的灵敏度有了明显提高,达到0.3mV/Pa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李俊红	中国科学院声学研究所声场声信息国家重点实验室	30	72	5.0	8.0
2	汪承灏	中国科学院声学研究所声场声信息国家重点实验室	44	387	10.0	19.0
3	马军	中国科学院声学研究所声场声信息国家重点实验室	71	550	13.0	20.0
4	魏建辉	中国科学院声学研究所声场声信息国家重点实验室	6	57	3.0	6.0
5	刘梦伟	中国科学院声学研究所声场声信息国家重点实验室	15	10	2.0	2.0