一种以多晶硅为振动膜的MEMS传声器研制

• 作者: 乔东海 徐联 汪承灏 田静
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 电容式传声器 MEMS器件 多晶硅薄膜 磷硅玻璃牺牲层
• 年，卷（期）: 2005,（14）
• 所属期刊栏目: 微纳传感器与执行器
• 页码范围: 1243-1247
• 页数: 5页
• 分类号: TN402
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.14.007

摘要

给出了以磷掺杂的多晶硅为振动膜的电容式MEMS传声器的研制过程.从等效电路模型出发,研究了电容式MEMS传声器的振动特性和灵敏度,给出了传声器灵敏度随振动膜张力、膜与背板间的空气隙厚度、背板声孔大小及背板声孔所占面积而变化的解析表达式.结合硼掺杂硅/硅复合背板结构MEMS传声器,提供了参考制作工艺流程.样品测试在1kHz频率处的灵敏度达到-60dB(相对于1V/Pa).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪承灏	中国科学院声学研究所	44	387	10.0	19.0
2	乔东海	中国科学院声学研究所	25	166	8.0	11.0
3	田静	中国科学院声学研究所	80	686	17.0	21.0
4	徐联	中国科学院声学研究所	7	46	3.0	6.0