国产半导体制造设备获海外订单

• 来源期刊: 中国集成电路
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体制造设备 订单 海外 国产 声波技术 半导体设备 清洗设备 低浓度
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 业界要闻
• 页码范围: 2-2
• 分类号: TN305
• 字数: 1180字
• 语种: 中文

摘要

盛美半导体设备（上海）有限公司近日宣布第一台Ultra C 12英寸单片兆声波清洗设备已经销售给韩国存储器制造巨头。采用盛美的空间交变相移兆声波技术（SAPS），Ultra C无需用高浓度的化学药液，而是采用极低浓度的功能水即可实现优越的颗粒去除率（PRE），并且使材料的流失降到最低。