高复现性面形检测支撑装置研制

• 作者: 于杰 周烽 王丽萍 王辉
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 极紫外光刻 高重复性干涉仪 有限元分析 检测支撑
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 131-135
• 页数: 5页
• 分类号: TH122
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201239.1108008

摘要

为提高面形检测的复现性,研制了一套检测支撑装置,配合高重复性干涉仪实现高复现性的面形检测,对该装置的复现性效果进行了仿真计算和实验验证.利用ANSYS软件仿真分析确定了各向干扰力对面形的影响,同时推导确定不同支撑方案所能实现的复现性.仿真分析结果表明,检测支撑方案最高能够实现均方根(RMS)误差优于30 pm的面形复现性结果.确定了最终检测支撑装置的结构形式,并在高重复性干涉仪上进行了面形复现性测试,测试结果表明,由检测支撑装置引起的面形复现性指标RMS优于70 pm,满足RMS为0.1 nm的复现性设计指标要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王辉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	215	3061	28.0	49.0
2	王丽萍	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	31	296	8.0	17.0
3	周烽	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	23	137	7.0	10.0
4	于杰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	10	15	3.0	3.0