组合套镀法制备2.0～2.4μm波段8通道微型集成滤光片

• 作者: 刘定权 李耀鹏 罗海瀚 蔡清元
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 光学薄膜 集成滤光片 间隔层 组合套镀
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 87-91
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201239.1107001

摘要

利用组合套镀法布里-珀罗结构光学薄膜滤光片间隔层的方法,选取锗和一氧化硅分别作为高低折射率膜层材料,在短波红外区域2.0～2.4 μm光谱范围内,设计并制备了8通道集成窄带滤光片,单个光谱通道的有效通光区域的宽度为450 um,其间有30 μm的挡光过渡带.各通道的峰值光谱透射率大于65％,滤光片的半峰全宽为8～13 nm,相对带宽在0.33％～0.65％之间.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘定权	中国科学院上海技术物理研究所	49	176	8.0	12.0
2	罗海瀚	中国科学院上海技术物理研究所	11	19	3.0	4.0
3	李耀鹏	中国科学院上海技术物理研究所	3	0	0.0	0.0
4	蔡清元	中国科学院上海技术物理研究所	5	2	1.0	1.0