等离子清洗技术在大面积磁控溅射玻璃镀膜中的应用

• 作者: 王树立
• 来源期刊: 消费电子
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子 玻璃镀膜 清洗技术
• 年，卷（期）: 2012,（9）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 229
• 页数: 1页
• 分类号: TB43
• 字数: 259字
• 语种: 中文

摘要

在大面积磁控溅射玻璃镀膜中,使用等离子清洗技术可以有效地清洁靶面和阳极表面,彻底解决使用平面磁控溅射阴极进行反应性溅射时的“靶中毒”和“阳极消失”两个问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王树立		2	0	0.0	0.0