TFT LCD常见点缺陷的检测与修复

• 作者: 陈再良 黄雅纹
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: TFT-LCD 点缺陷 检测 激光修复
• 年，卷（期）: 2012,（23）
• 所属期刊栏目: 电子技术
• 页码范围: 189-191
• 页数: 3页
• 分类号: TN27-34
• 语种: 中文

摘要

TFT-LCD在制程中会产生亮点、暗点、闪点、碎亮点等常见点缺陷.说明了检测点缺陷的装置、方法和过程.采用ITO隔离、激光炸射等方法对点缺陷进行修复或者淡化,其中ITO隔离法修复或淡化效果显著.修复成功率从45％提升到80％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈再良	苏州大学机电学院	85	242	7.0	12.0
2	黄雅纹	惠州学院建筑与土木工程系	3	13	2.0	3.0