JBQ-3200型全自动金属膜剥离清洗系统研制技术

• 作者: 刘永进 宋文超 张伟锋 陈仲武
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 金属膜剥离 自动传输系统 剥离清洗腔体 CCD中心定位 电气控制 软件系统
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 电子制造设备自动化研究
• 页码范围: 49-54
• 页数: 6页
• 分类号: TN305
• 字数: 4412字
• 语种: 中文

摘要

主要介绍了JBQ-3200型全自动金属膜剥离清洗系统设备功能、用途、结构组成、性能指标、主要特点,以及解决的关键技术和应用,能自动完成厚度在0.25～0.7 mm的φ100～φ200 mm具有基准边的标准圆片微细图形金属膜剥离、清洗和甩干工艺,剥离线宽能做到0.35 μm以上,是声表面波(SAW)器件、GaAs微波、毫米波器件、MEMS器件、OLED器件和先进封装等器件制造工艺中的关键设备.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘永进	中国电子科技集团公司第四十五研究所	11	11	2.0	2.0
2	宋文超	中国电子科技集团公司第四十五研究所	17	18	2.0	4.0
3	张伟锋	中国电子科技集团公司第四十五研究所	7	2	1.0	1.0
4	陈仲武	中国电子科技集团公司第四十五研究所	8	10	2.0	3.0