硅基氮化铝薄膜风致振动MEMS能量采集单元

• 作者: 尚正国 李东玲 温志渝 赵兴强
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 风致振动 MEMS能量采集 硅基氮化铝薄膜 衍射强度 摇摆曲线
• 年，卷（期）: 2013,（12）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 3058-3065
• 页数: 8页
• 分类号: TK83|O484.1
• 字数: 2417字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132112.3058

摘要

研究了基于氮化铝(AlN)薄膜的压电式风致振动微机电系统(MEMS)能量采集单元的制备工艺.采用脉冲直流磁控溅射的方法制备了具有(002)择优取向的AlN压电薄膜,并通过X射线衍射仪(XRD)及扫描电镜(SEM)表征了AlN薄膜的性能.测试结果表明:种子层材料、气体流量比和衬底温度等对AlN薄膜晶体取向及薄膜性能有重要影响.制备的具有(002)择优取向的AlN薄膜的衍射强度达到105count,半高宽为2.7°.对硅基AlN风致振动MEMS能量采集单元加工工艺流程进行优化,制备出了风致振动能量采集系统原理样机.风洞实验表明,在15.9 m/s的风载荷作用下,MEMS能量采集单元的最大输出功率为1.6 μW.该工艺亦可用于其他硅基AlN薄膜MEMS器件的制备.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温志渝	重庆大学光电工程学院	143	1259	18.0	26.0
2	尚正国	重庆大学光电工程学院	10	33	4.0	5.0
3	李东玲	重庆大学光电工程学院	7	21	4.0	4.0
4	赵兴强	重庆大学光电工程学院	9	151	7.0	9.0