高深宽比金属光栅制备及中红外波段传感特性

• 作者: 徐林华 赖敏 郑改革 陈云云
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 高深宽比金属光栅 表面等离子体共振传感器 严格耦合波理论
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 页码范围: 154-159
• 页数: 6页
• 分类号: O436.1
• 字数: 5284字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1010.2013.00154

摘要

利用纳米压印结合溅射和反应离子刻蚀工艺制备了具有高深宽比的金光栅,使用傅里叶变换红外光谱仪测得了反射谱线.测量结果显示,只在p偏振光垂直于光栅矢量方向入射条件下才存在共振反射峰,证明了“伪表面等离子体激元波”的存在.基于严格耦合波分析理论计算了金属光栅的反射率,研究了其作为中红外波段波长调制型表面等离子体共振传感器的可行性.数值计算表明负级次衍射光波对应的共振反射峰的移动能获得较高的波长灵敏度.对于深宽比为10的金光栅结构,+1级次和-3级次衍射光波对应的波长灵敏度分别为1600 nm/RIU和5000 nm/RIU,品质因子分别为20 RIU-1和60RIU-1.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑改革	南京信息工程大学物理与光电工程学院应用物理系	16	39	4.0	5.0
2	赖敏	南京信息工程大学物理与光电工程学院应用物理系	5	13	2.0	3.0
3	徐林华	南京信息工程大学物理与光电工程学院应用物理系	11	29	3.0	5.0
4	陈云云	南京信息工程大学物理与光电工程学院应用物理系	11	32	3.0	5.0