基于硅隔离衬底的高深宽比微型杠杆机构研究

• 作者: 张奇功 杨静 蒋庄德 赵玉龙 高建忠
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 微机电系统 微型杠杆机构 高深宽比 硅隔离衬底
• 年，卷（期）: 2005,（9）
• 页码范围: 1007-1010,1020
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-987X.2005.09.024

摘要

针对微机电系统微执行器输出位移小,不能满足实际工作需要的问题,设计了一种微型柔性杠杆位移放大机构,并用有限元方法对放大倍数及影响因素进行了分析.该机构不含任何旋转部件,利用单晶硅微梁的弹性变形来实现微位移的放大,采用深层反应离子刻蚀技术将整个机构制作在硅隔离衬底上,并把它置于40%的HF溶液中使其成功释放.对集成加工在同一衬底上的电热微执行器进行了性能测试,测试结果表明,在没有优化的条件下,加工的两级微型杠杆机构在14 V工作电压下的放大倍数为18.9倍,输出位移达到36 μm,测试结果与仿真结果相吻合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庄德	西安交通大学机械系统工程国家重点实验室	165	1512	18.0	28.0
2	高建忠	西安交通大学机械系统工程国家重点实验室	8	39	3.0	6.0
3	赵玉龙	西安交通大学机械系统工程国家重点实验室	81	540	14.0	19.0
4	杨静	西安交通大学机械系统工程国家重点实验室	36	225	9.0	14.0
5	张奇功	西安交通大学机械系统工程国家重点实验室	1	1	1.0	1.0