沉积在氧化铝模板上的纳米SiC的结构和发光性质研究

• 作者: 何志巍 吴现成 徐大印 李剑平 杨咏东
• 来源期刊: 烟台大学学报（自然科学与工程版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁控溅射 氧化铝模板 SiC 光致发光
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 页码范围: 97-100
• 页数: 4页
• 分类号: O471.1
• 字数: 1887字
• 语种: 中文

摘要

用二次阳极氧化法制备了高质量的氧化铝模板,用磁控溅射法在氧化铝模板上溅射生长了非晶SiC材料.原子力显微镜结果显示,在不同的溅射气压下(0.5～1.5 Pa),能够形成层状、点状和棒状的SiC纳米结构.光致发光谱显示,在550 ～ 700 nm之间有一个很强的发光峰,随着生长条件的改变,这个发光峰的强度有显著的变化.分析了纳米结构的形成、发光峰的变化与制备条件的关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴现成	烟台大学光电信息科学技术学院	11	36	4.0	5.0
2	何志巍	中国农业大学物理系	19	21	2.0	4.0
3	李剑平	烟台大学光电信息科学技术学院	24	164	6.0	12.0
4	杨咏东	烟台大学光电信息科学技术学院	17	62	4.0	7.0
5	徐大印	烟台大学光电信息科学技术学院	11	33	4.0	5.0