RHEED衍射花样与晶体表面形貌的关联性研究

• 作者: 丁召 刘珂 周勋 周清 王继红 罗子江 郭祥
• 来源期刊: 贵州大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: RHEED STM 平坦 粗糙
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 计算机技术·电子技术
• 页码范围: 73-76
• 页数: 4页
• 分类号: TN3|O47
• 字数: 3174字
• 语种: 中文

摘要

采用带有RHEED的MBE技术,在GaAs(001)单晶衬底上生长不同厚度(0 ML,4 ML,15 ML)的In0.53Ga0.47As外延层,实时监测RHEED衍射图像的演变过程,生长结束后采用STM对其形貌进行扫描分析.研究分析结果表明,随着In0.53Ga0.47As外延层的不断加厚,RHEED衍射图像从最初的清晰明锐、重构可辨逐渐演变到背景模糊、条纹断裂,最后进入完全的网格状斑点状态；与此同时,对应的表面形貌也从原子级的有序平坦表面逐渐过渡到部分3D岛形成、粗糙度提高,最后表面完全由3D岛构成,表面进入粗糙状态.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗子江	贵州大学理学院	46	63	4.0	6.0
5	王继红	贵州大学理学院	24	46	3.0	5.0
6	周勋	贵州大学理学院	18	49	4.0	6.0
8	郭祥	贵州大学理学院	25	32	3.0	4.0
9	丁召	贵州大学理学院	67	161	6.0	8.0
12	周清	贵州大学理学院	6	13	2.0	3.0
13	刘珂	贵州大学理学院	8	17	3.0	4.0