钢领表面电弧离子镀TiAlCN薄膜

• 作者: 党新安 张泽辉 李林 杨立军
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 真空电弧离子镀 TiAlCN 硬度 附着力
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 51-55
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2013.02.009

摘要

在低温(145℃)条件下,采用真空电弧离子镀技术在GCr15钢领表面制备TiAlCN薄膜.利用扫描电子显微镜(SEM)、电子探针(EPMA)、X射线衍射仪(XRD)、附着力测试仪和显微硬度计分析测试薄膜形貌和性质.结果表明,负偏压较小,液滴尺寸大；负偏压过高,液滴脱落后留下很多凹坑,薄膜组织性能恶化.随着弧电流的增大,液滴发生细化.当弧电流为50 A、负偏压为-100 V和镀膜时间为50 min时,薄膜的均匀性和致密性好,薄膜表面的液滴分布均匀且尺寸小,液滴最大尺寸小于2μm,膜层平均厚度为2.2 μm,膜层中有Fe0.975 Ti0.025(110)、Ti2N(112)和AlTi3 (CN)06等多种物质的存在,改善了膜层的组织结构,薄膜的附着力达到最大值39.8 N,薄膜的硬度达到最大值1 776 HV0.01,显著提高了钢领的表面硬度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨立军	陕西科技大学机电工程学院	102	435	10.0	15.0
2	党新安	陕西科技大学机电工程学院	137	781	14.0	20.0
3	张泽辉	陕西科技大学机电工程学院	2	14	2.0	2.0
4	李林		2	14	2.0	2.0