基于共焦成像法的亚表层损伤散射仿真

• 作者: 王春慧 王辉 田爱玲
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 光学零件 亚表层损伤 时域有限差分 光散射
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 测试技术
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: TN247
• 字数: 4019字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2013.03.001

摘要

光学零件的亚表面缺陷直接影响其使用性能和抗激光损伤阈值等重要指标,而造成这些危害的根本原因是由损伤层引入的入射光的散射.采用时域有限差分(FDTD)法,结合共焦层析测量系统进行模拟仿真.首先,针对常见的光学材料,分析了入射光经由亚表层中的微裂纹、气泡等常见缺陷调制后的光场分布,并结合不同形态参数和光学参数建立模型；其次,引入球面波激励源,模拟计算了入射波聚焦点沿固定间隔逐渐偏离缺陷时的散射分布.结果表明:共焦层析测量系统能够实现对亚表层损伤的测量,满足纵向响应函数趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田爱玲	西安工业大学陕西省薄膜与光学检测技术重点实验室	64	392	11.0	16.0
2	王辉	西安工业大学陕西省薄膜与光学检测技术重点实验室	30	107	5.0	8.0
3	王春慧	西安工业大学陕西省薄膜与光学检测技术重点实验室	8	58	5.0	7.0