多晶硅生产过程的质量控制

• 作者: 刘秀琼 汪治林 邓丰
• 来源期刊: 广东化工
• 学科: 工学
• 关键词: 改良西门子法 多晶硅 质量控制
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 页码范围: 87-88
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 5305字
• 语种: 中文

摘要

文章结合改良西门子法多晶硅生产实际,系统分析了多晶硅生产过程中各工序对多晶硅产品质量影响,并针对不同工序特点提出产品质量控制要素.分析探讨多晶硅产品质量影响与控制,对降低生产成本,提高产品竞争力,具有重要意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘秀琼		20	49	4.0	6.0
2	邓丰		8	21	2.0	4.0
3	汪治林		1	12	1.0	1.0