蓝宝石多线切割设备及切割技术

• 作者: 刘嘉宾 吕文利 王理正
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 多线切割 金刚石线 恒张力控制 摇摆切割
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 页码范围: 28-31
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.1
• 字数: 1347字
• 语种: 中文

摘要

介绍了蓝宝石多线切割机的发展技术背景，并就中国电子科技集团公司第四十八研究所基于金刚石线多线切割自主研发的X 0730-3/U M 型线切割机详细的介绍，性能特点，关键技术以及切割工艺实验分析，就金刚石线多线切割机理分析以及应用进行了初步的探讨。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕文利	中国电子科技集团公司第四十八研究所	5	13	2.0	3.0
2	王理正	中国电子科技集团公司第四十八研究所	2	12	2.0	2.0
3	刘嘉宾	中国电子科技集团公司第四十八研究所	1	8	1.0	1.0