基于Fourier-Mellin变换和相位相关的MEMS旋转角度的测量

• 作者: 张毅 罗元 聂俊齐
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS谐振器 旋转角度 相位相关 傅里叶梅林变换
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 光电技术应用
• 页码范围: 346-350
• 分类号: TB922
• 语种: 中文

摘要

MEMS器件微结构的运动特性影响器件的性能和可靠性.为实现微结构周期运动过程中各个时刻的旋转角度的测量,提出一种基于傅里叶梅林(Fourier-Mellin)变换和相位相关算法的旋转角度测量方法.利用傅里叶梅林变换算法的旋转不变性,将图像空间坐标转换为对数极坐标的参数空间,旋转角度变化转化为平移的运动,然后利用相位相关的亚像素平移测量算法,得到微结构旋转角度.实验结果表明,该算法旋转角度测量分辨率达到0.01°,计算量较小且具有抗干扰能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗元	重庆邮电大学光电工程学院	192	1681	17.0	31.0
2	张毅	重庆邮电大学光电工程学院	281	2390	21.0	36.0
3	聂俊齐	重庆邮电大学光电工程学院	2	12	2.0	2.0