超声扫描检测的应用工艺研究

• 作者: 张继静 黄晓鹏
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 超声扫描检测 工艺研究 C 扫描 分层缺陷
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 页码范围: 13-17,56
• 页数: 6页
• 分类号: TN307
• 字数: 2115字
• 语种: 中文

摘要

通过对几种常见的检测模式及缺陷分析方法进行介绍，并对几种常见器件进行检测、分析，总结出一套针对半导体器件及封装领域常见缺陷的检测方法，给出了具体的缺陷分析理论，为利用超声手段对器件进行无损检测和质量控制提供了重要参考。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张继静	中国电子科技集团公司第四十五研究所	11	23	2.0	4.0
2	黄晓鹏	中国电子科技集团公司第四十五研究所	4	2	1.0	1.0